코셈, 대기압 전자현미경 핵심기술 일본 특허 등록

[이데일리 권오석 기자] 주사전자현미경(SEM) 전문기업 코셈(360350)이 대기압 환경에서 고해상도 분석을 구현하는 핵심 기술인 ‘대기압 전자현미경용 전도성 초박막 2차 전자 검출기’에 대해 일본 특허청(JPO)으로부터 특허 등록을 완료했다고 27일 밝혔다.

(사진=코셈)

이번 특허는 국내에 먼저 출원한 뒤 이를 기반으로 일본에 출원된 기술로, 일본 특허청 심사를 거쳐 최종 등록됐다. 이에 따라 코셈은 오는 2045년 5월 12일까지 일본에서 해당 기술에 대한 독점적 권리를 행사할 수 있게 됐다.

이 기술은 그래핀 등 전도성 초박막 소재를 활용해 전자 신호를 효율적으로 검출하는 2차 전자 검출기 관련 특허다. 대기압 환경에서는 공기 분자와의 충돌로 전자 신호가 약해지는 만큼, 전자 신호 손실을 최소화해 진공에 준하는 해상도를 구현하는 것이 관건이라는 설명이다.

대기압 전자현미경은 시료를 별도 진공 처리 없이 관찰할 수 있어 바이오·의료는 물론 반도체·2차전지 생산 공정 등으로 활용처가 확대되고 있다. 히타치하이테크, 제올(JEOL) 등 글로벌 SEM 강자가 포진한 일본에서 특허 권리를 확보한 만큼, 코셈은 차세대 대기압 SEM 기술 경쟁력을 강화하고 글로벌 시장 확대에 나선다는 방침이다.

이준희 코셈 대표이사는 “엄격한 심사 기준을 적용하는 일본에서 독자 기술에 대한 권리를 인정받은 데 의미가 크다”며 “국내에 이어 일본 특허까지 확보한 만큼 차세대 대기압 SEM 제품군 경쟁력을 높이고 글로벌 시장 공략을 가속화하겠다”고 말했다.