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TGV는 유리기판에 미세한 수직 관통홀(Via)을 만들고 금속을 채워 전기적 연결 통로를 형성하는 기술이다. 유리기판 산업이 기술개발을 넘어 고객 인증과 생산설비 투자, 양산 준비 단계로 진입하면서 소재와 공정개발 단계부터 품질과 신뢰성을 검증하는 비파괴검사의 중요성도 커지고 있다.
이노메트리는 2차전지 검사 분야에서 축적한 X-ray·CT 촬영 및 영상분석 기술을 TGV 검사에 적용했다. 고객별 Via 구조와 공정조건에 맞춰 광학계와 영상처리 기술을 최적화하고, 내부 기공(Void)과 금속 충진 상태, 미세결함 등을 비파괴 방식으로 확인한다. 이를 통해 소재와 약품, 공정조건 변화에 따른 품질 차이를 비교·검증할 수 있다는 설명이다.
이노메트리는 미세크랙 검출 정밀도 향상과 인공지능(AI) 기반 TGV 결함 검사 시스템 고도화를 위한 정부 연구개발 과제도 수행하고 있다. 향후 유리기판 양산 전환에 맞춰 공정개발부터 양산 품질검증까지 대응할 수 있도록 검사 솔루션의 적용 범위를 확대할 방침이다.
이갑수 이노메트리 대표는 “TGV 상용화가 가까워질수록 균일한 품질과 높은 양산 수율, 신뢰성 확보를 뒷받침하는 정밀 비파괴검사가 필수 기술로 자리 잡을 것”이라며 “이번 와이피티 수주를 계기로 글로벌 기판업체를 포함한 밸류체인 전반으로 고객사를 확대하고 TGV 양산시장 공략에 속도를 내겠다”고 말했다.


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