이 사고로 2명은 심정지 상태에 빠졌지만 회복해 중상 4명과 경상 2명 등 총 6명의 부상자가 발생한 것으로 알려졌다.
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소방당국은 누출된 물질이 수산화테트라 메틸암모늄(Tetra Methyl Ammonium Hydrooxide·TMAH)으로 추정하고 있다. 반도체 가공 공정에서 세척제 등으로 사용하는 것으로 알려진 TMAH는 암모니아 냄새가 나는 무색의 액체로 치명적인 독성을 가진 것으로 알려져 있다.
소방당국은 장비 12대와 인력 38명을 투입해 사고현장을 수습했으며 약 25분 만인 이날 오후 2시 45분께 가스 누출 차단 작업을 완료했다.